Les avancées technologiques en micro-usinage, en particulier celles relevant de la micro-électronique, permettent de nos jours la miniaturisation de nombreux systèmes ou composants, et par suite, de nouveaux développements en GP. Les micro-actionneurs à base de MEMS ont contribué au développement de composants micro-fluidiques, valorisés dans un premier temps en pharmacie ou en biologie, par exemple avec la mise au point des bio-puces (ou puce à ADN). Des études plus récentes sont focalisées sur les micro-réacteurs pour la chimie, avec des objectifs d’analyses à haut débit ou d’accès à de nouveaux paramètres (transfert de matière et thermique). Ces micro-technologies conduisent déjà à des retombées importantes dans les domaines de la biologie, de la catalyse, de la synthèse de produits dangereux, dans la délivrance de médicaments à façon, ou encore dans l’instrumentation des procédés. Les progrès récents en micro-technologies ont permis d’autre part la miniaturisation de techniques analytiques conventionnelles et parfois l’expérimentation à haut débit, les rendant par là-même directement utilisables sur les procédés.